X62 D16B3M-T-2型抛光机

一、设备用途
本机适用于蓝宝石、硅片、蓝玻璃、砷化钾片及其它硬脆材料的双面精密抛光加工。
二、主要特点
1.本设备专为晶体材料高精度物理化学抛光开发了上下盘水冷系统，满足抛光工作温度的调控。
2. 采用三电机同步拖动，上下盘公用一个电机，转速机械定比联动；齿圈、太阳轮独立电机拖动，变速范围更广，能适应不同抛光工艺的要求；上、下抛光盘采用斜齿轮传动，提高了运转的平稳性。采用高性能变频器调速拖动，启动、停止无冲击，调速稳定。
3.太阳轮与内齿圈同步抬升，满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求。
4.压力采用电气比例阀及称重传感器闭环控制，压力等级设定更方便精确，操作简单易行，工作可靠稳定。
5.本机应用触控人机界面（PT）及PLC控制，一方面显示运行参数，另一方面通过其触摸键调整设定各项工艺参数，主操作由普通键钮完成；可由用户设定存储多套不同的工艺参数（压力、时间、速度），以供操作工调用；操控逻辑及界面显示可根据客户需求配置设计。
6.本机整体为龙门式结构，支撑刚度好；上盘上升到较高位置后保险挂钩自动锁定上盘系统，并且提供了手动安全吊链和安全支撑，保证了安全可靠。
7.本机配备有集中润滑装置，可对机器的各个运动部位进行自动润滑；
8.造型及内部结构充分考虑了可靠性、实用性、互换性和操作和维修的方便性。
三、主要技术参数
1.	研磨盘参数：         φ1149mm×φ343mm×50mm
2.	齿圈参数:             Z＝552   DP12    α=20°
3.	中心轮参数：          Z＝152   DP12    α=20°
4.	游星轮参数：          Z＝200   DP12    α=20°
5.	齿圈升降行程：        30mm（电机升降方式）
6.	游星轮数量：          5个
7.	主电机（带动上下盘）： 11kW    
8.	太阳轮电机：          1.5kW   
9.	齿圈轮电机：          2.2kW  
10.	下盘转速：            0-50rpm
11.	太阳能转速：          0-20rpm
12.	齿圈转速：            0-20rpm
13.	砂桶容量：            约30L
14.	修正轮：              4件/套
15.	设备重量：            约5600kg
16.	设备外形尺寸：（长×宽×高）2200mm×1600mm×2700mm
四、设备的安装要求
设备应安装在地面平坦，远离振动源，无灰尘烟雾污染的场所。
1．工作温度：                  15℃-25℃
2．气源：                      0.4-0.6MPa（干燥无油）    
3．相对湿度                    ≦80%
4．电源：                      AC380V，50Hz (三相五线制)
5.冷却水  
水压：2kgf/cm2 以下
水量：30L/min
温度：7～12℃